積體電路製程流程圖微影技術薄膜成長、沉積,且(或)化學機械研磨蝕刻光阻剝除光阻剝除離子佈植快速高溫回火或擴散. PDF 檔案. 1.1 互補式金氧半元件(CMOS) 技術的演進 ...
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