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在次微米CMOS IC製造廠中， 典型的晶圓製造流程模型

畫出一般典型次微米CMOS IC製造之流程圖。 ... 能說出CMOS最重要的14個製程步驟。 了解每一CMOS製程步驟中關鍵性過程及設備。 3. MOS製程流程之主要製造步驟.

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