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cmos製程步驟
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CMOS MEMS 及其於感測器之應用 - 台灣儀器科技研究中心
術優勢的常用感測機制,並介紹將感測器整合在積體電路上的各種製程方法,最後以熱絲式流量計、電容 ... 外的前處理或後處理步驟,且多半運用半導體底材.
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