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互補金屬氧化半導體生物感測器之製造方法

一種互補氧化半導體感測器之製造方法，係在具有複數個元件結構層的基板上形成保護層，以第一光阻層為罩幕進行蝕刻後，再形成圖案化之分子感測層，形成第三光阻層，蝕刻 ...

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