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辛耘知識分享家:清洗製程介紹(Wet Clean Process)

RCA Clean 是一套基礎且通用的晶圓清洗步驟，Werner Kern 在1965 年為美國無線電公司(RCA) 工作時開發的清洗步驟，主要是在半導體製造中的矽晶圓薄膜 ...

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