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什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck? - 龍欣科技股份 ...

(1) 可吸附多種物體：金屬導體～半導體～絕緣體(玻璃基板)～多孔型物體～軟性物品(如, 紙張)。 (2) 在真空環境下也具有安定的吸附力，正常操作，不受影響。 (3) 被吸物體 ...

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