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第一章研究動機

發展，以臺灣半導體產業來說，目前臺灣半導體量產最先進的. 製程是使用12 吋晶圓，線寬為65 奈米或65 奈 ... 但其鋁銅合金沈積反應室是用夾鉗(Clamp)來固定晶圓，為避.

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