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介電材料之靜電吸盤吸附力探討__臺灣博碩士論文知識加值系統

靜電吸盤（Electrostatic Chuck,ESC）已經廣泛的被半導體界所使用，而現在更應用到其他的業界中，例如應用在面版廠中可拿來固定ITO導電玻璃。此零組件之應用範圍日漸 ...

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