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電極電壓對靜電式晶圓座(ESC)晶圓釋放的影響研究

關鍵字: 靜電式晶圓座;Electrostatic Chuck (ESC);消除靜電電荷;晶圓釋放; ... [2] 張勁燕, “半導體製程設備”, 五南圖書出版股份有限公司, ch.7, 2005.

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