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半導體蝕刻機所用靜電盤為何?

靜電盤/ 靜電吸附盤/ ESC / Electric Static Chuck ... 半導體靜電盤應用. 半導體蝕刻機為寡占市場，主要供應商有TEL、應材、科林（LAM）等大廠，一部蝕刻機價格上億 ...

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