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SiC chuck(碳化矽真空吸盤) | 凱樂士股份有限公司- Kallex

在半導體、光電產業裡，常將極薄晶圓放置在碳化矽透氣吸盤上，接上真空產生器，利用真空吸力使晶圓固定，方便對晶圓進行上蠟、減薄、除蠟、清洗及切割等製程.

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