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真空吸盤/意德士

pin chuck. mark 精密加工真空吸盤. 應用於半導體產業黃光製程與晶圓檢查之相關機台使用. 特長: - 高精度: 平面度在0.2μm、L/F0.05μm以下. - 晶圓接觸凹凸控制.

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