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什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck? - 龍欣科技股份 ...

什麼是靜電吸盤E-Chuck? 靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。 圖片. □靜電吸盤的種類 (1) Coulomb-Force 庫倫力型靜電吸盤.

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