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CN107481954A - 基板处理装置以及基板处理方法 - Google ...

[0005] 近年来，随着形成在基板上的图案的微细化，具有凹凸结构的图案的凸部的高宽比（图案凸部的 ... [0031] 另外，在上述的结构中，优选所述化合物A是十四氟己烷。

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