你即將離開本站

並前往https://zhuanlan.zhihu.com/p/540714236

半导体工艺《通过光刻和蚀刻工序提高整个晶圆的关键尺寸均匀 ...

然而，在我们的新颖的CDU控制方法中，它被用来产生某些跨晶片的PEB温度分布，以补偿上游和下游的CD变化，使得最终的后显影或后蚀刻CD变化可以被最小化 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「cdu半導體」的人也找了：

  1. cdu是什麼
    2.
  2. cdu設備
    3.
  3. Chemical Dispense Unit
    4.
  4. cdu水冷
    5.
  5. chemical dispense unit中文
    6.
  6. Ccbtu
    7.
  7. VMB 半導體
    8.
  8. Chemical VMB
    9.