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北美智權報第116期：朝5nm微縮邁進：路徑眾多

過去開發的半導體世代技術，很清楚地以製程技術和材料選擇來定義所謂的「贏家」。 ... 掃描儀的疊加程度必須≤ 2nm，以及個位數的CDU – 這些要求該公司都能夠實現。

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