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电子工业生产设备二次配管配线技术规范

1 应根据每台生产设备各种动力用量的峰值流量，经计算确定该设备 ... CDA. 7.8 Kg/cm2. 10～15m/s. 工艺真空. P-VAC. 28 inHg（负压）. 12～15m/s.

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