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Development of a High Tech. Fab Energy Simulation software

乾盤管冷卻量計算為將潔淨室內部之熱量平衡式做計算，先分別計算出室內的熱得 ... 運轉時真空系統流量，m3/h. ECF t. Q t. Q. W standby standby. CDA operate operate.

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