CD = 0.18, 0.15, 0.13 μm; 90, 65 , …. nm. Page 3. 鮑忠興Jong-Shing Bow. I-3/26 ... 和SEM比較,在TEM分析中,產生特性X-光的體積非常小(見下圖)。 加上試片漂浮效應在 ...
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