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第三章WK2008磊晶系統相關硬體說明(腔體溫度控制器)

註3〆NH3分解率(α)隨著溫度升高而提高，且在無催化劑(Catalyst)作用下，NH3. 分解率一般低於4%。 ... 路接至腔體中上、下分層內，而管路中氣體流量則由旋鈕式流量計.

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