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超音波顕微鏡によるマイクロ接合部の評価法

超音波を利用した非破壊. 評価では広くC-Scanがおこなわれており、C-SAMの『C』は二次元走査結果を意味している。 本稿ではこのC-SAMという略称を使って測定原理、解析事例 ...

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