用途. 開發出12吋自動化晶圓暫存緩衝台(Near Tool Buffer, NTB)及其控制軟體,可減少晶圓廠自動化搬運系統(AMHS)之搬運時間;12吋晶圓生產自動化技術應用於8吋晶圓盒 ...
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