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高階製程微汙染防治傳載系統 - 華景電通

OHB (Overhead Hoist Buffer)N2 Purge System. 用於製程前段，安裝於自動化軌道下方，專門為了去除水分與氧氣含量、延長Q-Time而設計的氮氣充氣產品，能搭配半導體AMHS ...

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