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探討金屬雜質對閘極氧化層崩潰電壓的影響與改善

oxide)崩潰電壓(breakdown Voltage)的下降變化與閘極氧化層預洗. （pre-gate clean）過程之間的關係作探討。 經由感應耦合電漿質譜分析儀(inductively coupled plasma- ...

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