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國立嘉義大學貴重儀器中心The Instruments Center of NCYU

綠燈 待機。紅黃燈同相閃時,表示開關門中。 ... Wafer Bonding 下壓的氣缸。 8. 加熱器的feed though ... 控制Wafer Bonding 的壓力。(0.05-9 kg/cm2).

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