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後段化學清洗蝕刻區使用注意事項:

12.當自備容器配置藥水時，其使用過之含氟離子的廢液，請傾倒傾倒於設備端之B.O.E.7:1. 槽內排放之；若為一般酸鹼廢液，傾倒於設備端之硫酸槽內排放之。嚴禁任意倒入水槽，.

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