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第四章結果與討論4.1 蝕刻條件4.1.1 濕蝕刻本文將討論兩種不同 ...

此首先以BOE為例。實驗條件為室溫下，利用厚膜光阻AZ4620做為. 阻擋層（約6μm厚），分別在0、、6、10、20以及28小時後分別取. 樣5個sample做紀錄，並且對各組數據取 ...

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