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boe 蝕刻

為何以下分別分析比較DHF與BOE之不同一般半導體製程中在蝕刻二氧化矽通常是用BOE做為蝕刻液因此 ... 目前自動供酸系統不提供氨水與鋁蝕刻液兩種藥水若要使用此兩種.

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