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緩衝氧化物刻蝕劑 - 維基百科

緩衝氧化物刻蝕劑( BOE )，也稱為緩衝氟化氫(BHF 或Buffered HF )，是一種用在微小尺度加工的溼刻蝕劑。它的主要用途是蝕刻二氧化矽(SiO 2 ) 或氮化矽(Si 3 N 4 )薄膜 ...

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