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铅基铁电薄膜与半导体硅的集成研究及应用- 国家科技成果数据库

【成果简介】, 本项目以铁电器件与半导体硅的集成作为研究对象,采用磁控溅射法在硅 ... 研究了两种取向Pt底电极取向对Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT)薄膜的结构和性能的影响 ...

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