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溶胶液（薄膜形成剂） | 三菱综合材料高功能产品公司电子材料 ...

... 于半导体和MEMS领域。 主要通过旋涂法在Si晶片上涂布溶胶液，然后通过热处理，可以容易地获得均一组成和厚度的PZT、BST、SBT、BLT等强电介质和LSCO等氧化物薄膜。

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