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XPS 超薄薄膜分析 - 台灣儀器科技研究中心

Binding Energy (eV) ... 於是SiO2 層厚度，d，便可計算出：. 如果λ 與k 值為已知，量測R 值便可估算出氧化. 矽薄層的厚度。當θ 不為0°，便須將分析角度，.

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