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垂直功率三栅SiC MOSFET--业内热点 - 中国科学院微电子研究所
用缓冲氢氟酸(BHF)浸液清除源区中鳍片的顶部的绝缘材料。最终的器件针对650V阻断,通过浮动场环边缘端接实现。在706V下发生雪崩击穿,并且栅氧化物 ...
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