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二氧化硅的湿蚀刻- 化学品灌装 - 华林科纳半导体设备有限公司

典型的例子是硅的各向异性蚀刻，通常在KOH（氢氧化钾）中进行。在这种情况下，稀释的KOH也是用于正性抗蚀剂的典型 ... 行业标准的缓冲氢氟酸溶液（BHF）具有以下配方：.

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