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{生产工艺技术}湿法腐蚀工艺和过程- MBA智库文档
非等离子干法刻蚀,例如双氟化疝或氢氟酸的酸性蒸气腐蚀,拥有各向同性湿法腐蚀 ... 浓度高基于HF,BHF,或较高的酸浓度会增快腐蚀速率NH4F的溶液用水稀释降低腐蚀速率2 ...
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