用来清洗Si片,后续做氧化工艺,清洗过程中的缓冲氢氟酸溶液(BOE)一般配置的比例 ... 硅片清洗进furnace,DHF 一般是用1:50 HF49%:H2O;BOE(BHF) 和DHF的区别见楼上 ...
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