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bhf氫氟酸
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接触缓冲氢氟酸的结构钽薄膜的压缩和减压,Journal of ... - X-MOL
然而,任何独立式结构的主要问题之一是残余应力的控制。在这里,我们观察到在缓冲的氢氟酸(BHF)酸释放步骤之后,由Ta膜制成的悬置固定梁在张力弯曲下 ...
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