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應用交流- 半導體濕蝕刻洗淨設備

與氫氟酸混合,用來蝕刻磷矽. 玻璃(PSG)。 磷酸(HPO4) ... BHF. 原生氧化物. 名稱. Piranha(SPM). SC-1(APM). 化學溶液的混合種類 ... 氫氟酸/水溶液(不能移除銅).

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