此離子源小於10 nm、能量分散約為4.5 eV、亮度約為106 A/cm2.sr，因此可以用來做為很精確的奈米結構加工工具，也可稱之為奈米雕刻刀。 聚焦離子束顯微鏡的系統，是由 ...
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