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平坦化InGaAsP半導體雷射之製作與應用 - 9lib TW

在雷射製作方面我們使用的是脊樑式的結構，脊樑蝕刻完成後，先以磁式濺鍍機長上一層SiO2 薄膜以保護脊樑表面，然後再塗鋪上高分子材料苯環丁烯(Benzocyclobutene, BCB) ...

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