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批次-物理氣相沉積系統(Batch Type Physical Vapor Deposition)

批次-物理氣相沉積系統(Batch Type Physical Vapor Deposition)- 為多方位 ... 具有密封盤狀4吋真空加熱器，試片可間接加熱至450 o C。採自動夾持加熱。

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