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半導體製程設備 - 第 260 頁 - Google 圖書結果

半導體 製程設備一般使用電漿的理由,是電漿可以提供獨特且容易控制的能量形式, ... 如此連鎖反應,終久造成離子和電子的雪崩( avalanche ) ,而發生熾熱放電。

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