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台灣積體電路製造股份有限公司FAB14B 廠含氟及N2O 溫室 ...

Atlas -Helios. 燃燒式. EDWARDs ... 當設備異常時，LSC 會傳送異常的alarm 指令給廠務中控 ... Atlas. EDWARDS. Helios. CSK. CHOAS. 電漿式監控供應電流DC>12A.

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