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TWI467309B - 光學裝置及其設計方法

... 鏡像差(aberration)，例如非旋轉對稱像差(如，慧形(coma)或像散(astigmatism)像差) ... 進行步驟S30，將虛擬相位遮罩轉換為多項函數，其包括高階及低階像差係數。

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