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工學院半導體材料與製程設備學程

避免研磨時產生細微刮傷，而研磨墊表面的粗糙面(Asperity)則用來含住研磨液，假. 如研磨墊上微細孔被副產物堵住或是表面上沒有產生粗糙面以供研磨作用，我們稱此.

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