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應用於63奈米動態記憶體高深寬比連接導線蝕刻製程之研究

Study of Etching Process of HARC(High Aspect Ratio Contact) Holes for 63nm DRAM ... 積體電路 ； 互補式金氧半導體 ； 介電層 ； 蝕刻 ； 高深寬比連接導線 ...

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