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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

感光劑（PAC）為光阻的感光成分，其主要原理大概可分為兩類，一為接受光源能量. 後，將使高分子的極性改變， 使其極性由低變高， ... 20 為荷蘭ASML Scanner 的結構圖.

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