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asml euv原理
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什么是EUV光刻机?为什么大家都在追求它? - 硬件 - cnBeta ...
而光刻的工作原理,大家可以想象一下胶片照片的冲洗,掩膜版就相当于胶片,而光刻机就是冲洗台,它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上,然后 ...
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