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中芯國際採購DUV光刻機，對比11億一臺的EUV光 ... - 互動頭條

有媒體的說法“除了EUV光刻機，中…… ... 反觀EUV光刻機，主要利用光的反射原理。 ... 前段時間，ASML還在更高階EUV光刻機的研發上實現了突破。

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