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全球光刻機發展概況以及半導體裝備國產化 - 论坛

EUV 光刻機方面，ASML占有率100%。 ... SP光刻機利用表面等離子體超衍射光學光刻的原理，能刻出相當於光源波長十分之壹甚至二十分之壹分辨率的產品。

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